X射線源：X射線熒光測(cè)厚儀的核心部分是X射線源，它產(chǎn)生高能X射線，激發(fā)被測(cè)材料中的熒光X射線。X射線源通常由X射線管和高壓電源組成。X射線管是密封真空的，陰極是鎢絲，陽極是鎢制成的目標(biāo)靶。當(dāng)熱電子撞到陽極靶時(shí)，動(dòng)能轉(zhuǎn)換成熱和X射線，穿透射線管以光子的形式發(fā)射出去。

　　探測(cè)器：探測(cè)器用于接收和測(cè)量熒光X射線。熒光X射線具有特定的能量和波長，因此探測(cè)器需要進(jìn)行能量分析和波長鑒別，以確定被測(cè)材料的成分和厚度。常用的探測(cè)器有半導(dǎo)體探測(cè)器、閃爍體探測(cè)器和電離室等。

　　信號(hào)處理和控制系統(tǒng)：信號(hào)處理和控制系統(tǒng)對(duì)探測(cè)器接收到的信號(hào)進(jìn)行處理和控制，計(jì)算出被測(cè)材料的厚度和成分。它通常包括放大器、濾波器、ADC（模數(shù)轉(zhuǎn)換器）等部件，將探測(cè)器輸出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，并通過計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析。

　　操作界面和計(jì)算機(jī)：操作界面和計(jì)算機(jī)用于設(shè)定和操作儀器，顯示測(cè)量結(jié)果。操作界面可以顯示實(shí)時(shí)測(cè)量數(shù)據(jù)、校準(zhǔn)曲線等信息，并且可以設(shè)置儀器參數(shù)、保存數(shù)據(jù)等。計(jì)算機(jī)通過與操作界面通信，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析，最終得出被測(cè)材料的厚度和成分。

　　其他輔助部件：為了確保儀器的準(zhǔn)確性和可靠性，X射線熒光測(cè)厚儀可能還包括其他輔助部件，例如冷卻系統(tǒng)、高壓電源、真空系統(tǒng)等。這些部件的作用是確保儀器在最佳狀態(tài)下工作，提高測(cè)量準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

　　總之，X射線熒光測(cè)厚儀是一個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng)，各個(gè)組成部分的協(xié)同工作才能實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的測(cè)量。